激光干涉仪-合肥迈思瑞-激光干涉仪厂家

激光干涉仪的工作原理

激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，***后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。当高压连接在阳极和阴极之间时，双频激光干涉仪报价多少钱，混合气体被激发，形成激光光束，通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中，为实现平衡状态，通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内，激光干涉仪厂家，此时稳定输出后，激光器即可进行干涉测量。

激光干涉仪调光步骤及技巧

直线度测量

光学组件：直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只。

测量原理：激光头的输出光束穿过直线度干涉镜后，被分裂成两束夹角较小的光束，这两束光成一个微小的角度。然后，经直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干涉镜，该两束光束在直线度干涉镜处汇合成一束光束，并返回激光头的回光孔。直线度测量是通过检查干涉镜和反射镜的相对横向位移引起的光程差来实现的，直线度测量可以在水平面或垂直面内进行，激光干涉仪价格，它取决于直线度干涉镜和直线度反射镜的***方向。

光学器件安装：

短距离直线度测量，行程近端时固定光学元件与移动光学元件之间的距离至少为0.1m，而长距离直线度测量时该距离***少为1m。

垂直直线度偏差测量光路校准步骤：

1、放置好激光头，安装好直线度光闸。

2、将干涉镜表面旋转90度（小孔在右边），激光干涉仪，借助直线度干涉镜上的小光孔将激光近、远两端拉直。

3、放置直线度反射镜，检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶，光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧，只调节直线度反射镜，使激光正对光靶小光孔。

4、将干涉镜旋转90度，去除光靶。细微旋转干涉镜表面使反射回光闸的两束光线聚焦，调节直线度反射镜上旋钮将汇合后的光束对准直线度光闸的回光孔。

5、检查激光头，近、远两端光强是否一致。（可微调俯仰、扭摆、左右，寻找返回光束光强***1大位置。）

6、人工去除斜率误差。

激光干涉仪机器表面温度的影响

1.影响因素

　　机器温度偏离20℃时，由于使用的材料温度传感器的测量准确度及输入机器热膨胀系数不正确的影响，对测量准确度也会产生影响。当材料温度传感器的准确度为±0.1℃，热膨胀系数为10μm/℃时，产生的测量误差为±1.0μm；若输入不正确的机器热膨胀系数会使准确度变化为10μm，甚至更多。

2.减少及消除的方法

　　由上看出，热膨胀系数是一个重要的误差来源，因此应该注意确保输入正确的数值。