特种气体供应商-西安特种气体-安徽谱纯气体公司(查看)

电子工业生产中所需的高纯气体

随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，也已进入在线分析阶段，特种气体生产厂家，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，一般需要把气体样品***行液体化，特种气体公司，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，以该溶液为样品，西安特种气体，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

电子工业用气体统称电子气体，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，特种气体供应商，是微纳电子制造***安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业。

近年来，随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。

标准气体

所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体（零位气体）、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。由于使用了标准气，所以即使在不同场所测定，也具有相同测定值。标准气体应用范围很广，在化工、石油　冶金、机械、航天、电子、军1工玻璃、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、环保、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。