激光干涉仪的用途:线性测量
激光干涉仪的线性测量可以检测机床轴的多项精度指标,其中包括***精度、重复***精度、反向间隙等。用于线性测量的镜组包括两个线性反射镜和一个线性分光镜。
激光干涉仪要设置线性测量,将一个线性反射镜连接到具有两个紧螺纹的分光镜上。这个组合要件被称为“线性干涉镜”,可以作为激光束的参考路径。线性干涉镜位于激光器和线性反射镜之间的光束路径,激光器的光束会射入线性干涉镜,再分为两道光束。一道光束(称为参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜。这两道光束回再反射回分光镜,重新汇聚之后返回激光头,其中会有一个探测器监控两道光束间的干涉。


激光干涉仪功能特点:
精度高
以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
功能广
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性***精度、重复***精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正的提供依据。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析等。
可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。
标准多
内置国内外通用的标准,含国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
便携性
使用方便:准直激光后,轻易实现设备线性***、重复***精度、反向间隙、角度、直线度的测量。
携带方便:基本重量为15kg,简单便携。
可定制
测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel文档。


激光干涉仪减少及消除的方法
(1)测量尽量在恒温车间进行,以保持环境温度的相对稳定。
(2)在环境参数偏离标准条件时,可使用EC10环境补偿单元对温度、压力、湿度进行自动补偿,可使上述(温度、压力、湿度)误差减少到±1.1μm。
(3)尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯,以减少热源。
(4)在夏季,为了减少激光器的发热,芜湖激光干涉仪,可用电风扇对其进行散热和降温,以延长激光器的使用时间。
(5)在测量时,激光干涉仪哪个牌子好,应尽量避免车间各种振动的产生,激光干涉仪什么品牌好,如机床、行车等。在必要时,激光干涉仪什么牌子好,可在下班或晚上比较安静的环境下测量。同时,应将反射镜和干涉镜分别安装在刀具/中滑板位置和床身位置上,激光器安装在尽量靠近机床的位置,使用尽可能短的加长安装附件来固定光学元件,以减少机床振动产生的影响。


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