韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。
广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
应用:
所有工业,气体混合及分析 ,半导体工业,注气、表面加工行业(PVC,CVD,反应器等) ,
部件***检测,产品研究和开发,高压行业,光纤,燃料电池,反应器系统,气体的混合系统。
优势:
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度(&plu***n;1%F.S)
l 耐高压(95公斤)
l 快速响应时间(<1秒)
l 高重复性(&plu***n;0.25%F.S)
规格:
| 型号 | M3500V/A |
| 流量范围(N2) | 300~1000 slpm |
| 响应时间 | <2秒 |
| ***度 | &plu***n;1% |
| 重复精度 | &plu***n;0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
| 供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| ***大工作压力 | 60~240 psia |
| ***大工作温度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-/sec |
| 控制范围 | 2~100% |
