电子气特种气体-安徽谱纯(在线咨询)-合肥特种气体

电子工业生产中所需的高纯气体

随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，也已进入在线分析阶段，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，一般需要把气体样品***行液体化，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，以该溶液为样品，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中，特种气体厂家，精馏技术的操作比较复杂，合肥特种气体，目前精馏的汁算还处在半经验状态，但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求；吸附分离技术还有待于吸附剂的发展；膜分离技术是较新的分离模式，它的发展很快，已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之，这三种方法各有优缺点，适应不同的场合，满足不同的要求，为特种气体的分离做出各自的贡献。

新华社北京３月１３日电（记者张泉、刘诗平）电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工７１８所副所长郭建增告诉记者，电子气特种气体，７１８所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。