准分子激光（英文：Excimer laser）是一种紫外气态激光，处于激发态的稀有气体和另一种气体（稀有气体或卤素）结合的混合气体形成的分子，向其基态跃迁时发射所产生的激光，称为准分子激光。准分子激光属于低能量激光，无热效应，生产准分子预混气厂家，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光，光子能量波长范围为157－353纳米，寿命为几十纳秒，属于紫外光。***常见的波长有157nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。
准分子以激发态形式存在，寿命很短，仅有10^(-8)S量级，基态为10^(-13)S量级，跃迁发生在低激发态和排斥的基态（或弱束缚）之间，其荧为一连续带。由于其荧光谱为一连续带，故可以实现波长可调谐运转。由于激光跃迁的下能级（基态）的离子迅速离解，准分子预混气供应，激光下能级基本为空的，极易实现粒子数反转，因此量子效率很高，接近100%，且可以高重复频率运转。
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