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（1）废气处理吸附工艺简介 活性炭吸附塔主要适用于低浓度气态污染物的净化，对于高浓度的有机气体，通常需要首先经过冷凝等工艺将浓度降低后再进行吸附净化。吸附技术是***为经典和常用的气体净化技术，也是目前工业VOCs治理的主流技术之一。吸附法的关键技术是吸附剂、 吸附设备和工艺、再生介质、后处理工艺等。 活性炭因其具有大比表面积和微孔结构而广泛应用于吸附回收有机气体。目前，对活性炭吸附有机气体的研究主要集中在吸附平衡的预测、活性炭材料的改性及有机物的***性质对活性炭吸附性能的影响。 （2）活性炭吸附装置工艺原理及流程 活性炭纤维吸附有机废气是当今世界上l***为***的技术之一，活性炭纤维比颗粒状活性炭具有更大的吸附容量和更快的吸附动力学性能，活性炭吸、脱附工艺流程见图1。 （3）活性炭吸附工艺影响因素 （4）活性炭净化空气的物理吸附，如图2所示四种情况：分子直径大于孔的直径，由于空间位阻，分子不能入孔，因此不吸附；分子直径等于孔的直径，吸附剂的捕l捉力很强，非常适合低浓度吸附；分子直径小于孔的直径，孔内发生毛细管冷凝，吸附容量大；分子直径远小于孔的直径，吸附分子很容易解吸，解吸速率高，低浓度下的吸附量较小。 （5）活性炭吸附工艺的优缺点优点：适用于低浓度的各种污染物； 活性炭价格不高，能源消耗低，清尘环保公司，应用起来比较经济； 通过脱附冷凝可回收溶剂有机物； 应用方便，只与同空气相接触就可以发挥作用； 活性炭具有良好的耐酸碱和耐热性，化学稳定性较高。 缺点： 吸附量小，物理吸附存在吸附饱和问题，随着吸附剂的消耗，吸附能力也变弱，使用一段时间后可能会出现吸附量小或失去吸附功能； 吸附时，存在吸附的专一性问题，中山环保公司，对混合气体，可能吸附性会减弱，同时也存在分子直径与活性炭孔径不匹配，造成脱附现象.

广东绿意环保科技有限公司是一家以环境污染治理及修复为核心，集“咨询-设计-施工-运营管理”于一体的综合性环保技术企业，公司拥有技术团队，莒县环保公司，主营业务包括：环境影响评价、突发环境事件应急预案、清洁生产、环保工程竣工验收、场地环境调查与评价等环保咨询工作，废水治理（工业废水、生活污水）、废气治理（粉尘、有机废气、锅炉废气等）、噪声治理、场地修复（土壤、生态）及相关联非标设备的生产制造等环保工程工作。

工业除尘设备应具备"***、优质、经济、安全"的设备特性；工业除尘器设计、制造、安装和运行时，必须符合以下设计原则。一、技术***。 具体要求：(1)技术***、造型新颖、结构优化，具有显著的"***、密封、强度、刚度"等技术特性。(2)排放浓度符合环保排放标准或特定的规定，其粉尘或其他***物的落地浓度不能超过卫生防护限值。(3)主要技术经济指标达到国内外***水平。(4)具有配套的技术保障措施。 二、运行可靠具体要求：(1)尽量采用成熟的***技术，或经示范工程验证的新技术、新产品和新材料，奠定连续运行、安全运行的可靠性基础。(2)具备关键备件和易耗件的供应与保障基地。(3)编制工业除尘器运行规程，建立工业除尘设备有序运作的软件保障体系。(4)培训***技术人员和岗位工人，实施岗位工人持证上岗制度，科学***工业除尘设备的运行、维护和管理。 三、经济适全具体要求：(1)依靠高新技术，简化流程，优化结构，实现***除尘，减少主体重量，有效降低设备造价。(2)采用***技术，科学降低能耗，降低运行费用；(3)***除尘净化的深加工，环保公司***，向综合利用要效益。(4)提升除尘器完好率和利用率，向管理要效益。 四、安全环保具体要求：必要安全设施：(1)走台、扶手的护栏。(2)安全供电设施。(3)防爆设施。(4)防毒、防窒息设施。(5)热膨胀消除设施。(6)安全报警设施。 杜绝二次污染与转移：(1)除尘器排放浓度必须保证在环保排放标准以内，作业环境粉尘浓度在卫生标准以内；(2)粉尘污染治理过程，过能有二次杨尘，也不能转移为其他污染。(3)除尘器噪声不能超过***卫生标准和环保标准。(4)除尘器收下灰(粉尘)应配套综合利用措施。

广东绿意环保科技有限公司是一家以环境污染治理及修复为核心，集“咨询-设计-施工-运营管理”于一体的综合性环保技术企业，公司拥有技术团队，主营业务包括：环境影响评价、突发环境事件应急预案、清洁生产、环保工程竣工验收、场地环境调查与评价等环保咨询工作，废水治理（工业废水、生活污水）、废气治理（粉尘、有机废气、锅炉废气等）、噪声治理、场地修复（土壤、生态）及相关联非标设备的生产制造等环保工程工作。

概况-集成电路的工艺废气主要分为6大类：

(1)酸性废气：来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及扩散等工序，主要污染物为氟化物、HCl、氮氧化物、***雾等。

(2)碱性废气：来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序，主要污染物为NH。

(3)有机废气：来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用化学溶剂清洗的过程，主要成份为IPA、光刻胶等有机物。

(4)含尘废气：来源于CVD工艺排气，主要污染物为粉尘(SiO2)。

(5)工艺尾气：来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如磷烷、B2H6等，除部分在工艺中反应消耗外，其余均以尾气的形式排放。

(6)热无处理废气：来源于扩散等工序中的热气排放，直接排人大气。