真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可yi位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。
真空系统检漏的方式多种多样，因此在选择真空系统检漏方法的过程中，真空找漏公司需要根据检漏对象的特点作选择，找到合适的检漏方法。
1、检测的灵敏度高，反应时间短，稳定性好。 2、易于判断漏孔的位置与大小。 3、示漏物质在空气中的含量低，并且易于得到，不腐蚀零件，不堵塞漏孔，不污染环境，不影响人身安全。 4、检漏范围宽，从大漏到小漏均易于找到漏孔。 5、可以达到无损检漏、无油检漏以免油污染被检件。 6、结构简单，使用方便，对被检件不应有苛刻要求。
西安世豪电力科技有限公司分享：仪器泄漏率判断标准：
1) 氦质谱检漏仪标准漏率: 1.6E-12
2) 氦质谱检漏仪标准零位: 1.0E-08
3) 氦质谱检漏仪漏量范围: 1.0E-08至9.0E-07（为小漏率影响范围：20-50pa/min）
4) 氦质谱检漏仪漏量范围: 9.0E-07至9.0E-06（为中小漏率影响范围：50-100pa/min）
5) 氦质谱检漏仪漏量范围: 9.0E-06至9.0E-05（为大漏量影响范围：100-150pa/min）
6) 氦质谱检漏仪漏量范围: 9.0E-05至9.0E-04（为中大漏量影响范围：150-200pa/min）
7) 氦质谱检漏仪漏量范围: 9.0E-04至9.0E-03（为特大漏量影响范围：200-800pa/min)此漏量只做参考。
