准分子以激发态形式存在，准分子预混气出售，寿命很短，仅有10^(-8)S量级，基态为10^(-13)S量级，准分子预混气报价，跃迁发生在低激发态和排斥的基态（或弱束缚）之间，其荧为一连续带。由于其荧光谱为一连续带，故可以实现波长可调谐运转。由于激光跃迁的下能级（基态）的离子迅速离解，激光下能级基本为空的，极易实现粒子数反转，因此量子效率很高，接近100%，且可以高重复频率运转。
准分子激光器适用于***方面的应用，如光掩膜版的制作、检查和量测。重复率为1KHz时，激光器能稳定发射输出能量为16mJ的248nm激光（KrF型号）和6mJ的193nm激光（ArF型号）。它包括一个激光头（激光头安装在一个适于洁净室环境下使用的不锈钢盒子里）和一套安装在工业PC板单独的电源系统。激光器由严格的标准组件构成，可单侧打开进行激光头维修，因此很容易与大多数工作站进行组合使用。
“准分子激光器”这个术语，并不是表示单一的器件，而是表征一组具有相似输出特性的器件。这些激光器都能在几贴或几十。时间内发射紫外或近紫外波长范围的强激光脉冲。商业准分子激光器通常能以不同混合气体运转，能产生多种不同波长的输出。这是一种相当***的技术，准分子预混气供应商，而且，商业准分子激光器件还在不断发展中。 虽然，准分子激光器在商品市场上是一种***1新式的器件，但是它们在研究实验室里已获得了普遍的承认，武汉准分子预混气，并且引起潜在工业用户的极大兴趣，从实验室的演示迅速过渡到商业生产，部分原因是如下的巧合:即同一激励方法既可用于准分子激光器，也可用于TEA CO，激光器。
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