Aera® FC-7800 系列MFC提供***的流量控制以***的抗阻性能和超***漏的金属密封,适合大部分气体控制用。
性能:
快速的响应,响应时间<2秒.
***的可靠性——一年零漂移不到满标度流量的0.5%
易于整合——标准连接器和尺寸
出色的效果——优质的薄膜特性
特点:
耐腐蚀性,流量范围从10sccm-200slm
VCR® 、VCO®及Swagelok®共容性连接
全金属密封
常关或常开的电磁控制阀
泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He