AeraFC-D980 系列数码MFC(质量流量控制器)和MFM(质量流量计)具有***的性能和通用性,从而大幅节约了成本且易于使用。多种输出选择允许进行模拟或数码控制,可用于目前大多数控制和通信配置。为适应您优先选择的价值和功能,该产品线拥有单气体和多气体、多范围的MFC。多气体、多范围可以通过显著减少备件库存要求降低成本。RS-485 通信(带有转换器的RS-232)与***的诊断和警报功能相结合,达到了***的监控和控制性能,操作参数就在您的弹指之间。
性能:
出色的***性、可重复性和稳定性
大幅节约了成本
***大限度的运行通用性
***的可靠性
特点:
多气体、多范围选择
模拟、模拟/数码以及数码模式
压电控制阀
多警报和诊断功能
金属密封,泄漏率为1x10-10
电解抛光且超洁净气体湿润表面