TKSCT气体过滤器系列有:
哈式合金气体过滤器
不锈钢气体过滤器
PTFE气体过滤器
IGS气体过滤器
陶瓷气体过滤器
材质结构
超高纯在线式过滤器 ■哈式合金气体过滤器全哈氏合金结构 ■高温及动态压力测试 ■不锈钢气体过滤器全316L不锈钢结构 ■尺寸紧凑，可变的末端连接 ■PTFE气体过滤器滤芯为PTFE材质,本体材质为316L，内部电解抛光■IGS气体过滤器具有高可靠性耐冲击和震动■陶瓷气体过滤器内部为316L 电解抛光处理 广泛应用于***行业
产品特性
▪ 流量大，12-800SLPM
▪ 受腐蚀的部位采用哈氏合金，适用于惰性气体及腐蚀性强的气体
▪ ***的性能满足大多数半导体工艺气体
▪ PTFE材料具备良好的抗腐蚀性能及兼容性
▪ 过滤等级为0.0025μm，即使在高流速的情况下，也不会引起出口端压力的下降
▪ 内部抛光等级为5Ra，防止其内部污染
▪ 通过高温氮气及去离子水清洁，满足半导体行业的标准
▪ 清洁及包装在100级洁净室内
▪ 100%氦气检测