日本 ORC UV照射装置 紫外线橡皮擦 VUM-3500/VUS-3300
紫外线橡皮擦
VUM-3500/VUS-3300
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说明：
1、以上数据仅供参考，产品详细参数请以厂家实际出厂为准；
2、厂家会不定期更新产品型号、外观、参数、图纸等，具体请咨询。
3、以上价格非售价，具体请咨询***
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◆ 仕 様 |
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型式 |
VUM-3500 |
VUS-3300 |
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処理ウエーハ |
12インチ |
○ |
○ |
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8インチ |
OP |
OP |
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同時処理枚数 |
15枚 |
3枚 |
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スループ***ト ※1 |
約48WPH |
約24WPH |
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カセ***ト形態 |
FOUP |
FOUP |
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ウェーハ搬送 |
自動搬送 |
自動搬送 |
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ランプ灯数 |
20本 |
4本 |
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初期照度 |
45mW/cm2 |
45mW/cm2 |
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照度測定 |
自動測定 |
自動測定 |
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装置サイズ |
1140（W）× |
1360（W）× |
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部分型号：
QRM-2288/QRM-2300/QRM-2215/VUE-3020-172/VUS-3100-R/VUS-3100/HMW-615N-3/HMW-615N-4/VUM-3073F/VUM-3500/
VUS-3300/QRU-2161-F/QRU-2161-H/OHD-110M-ST/UV 300 W/UV 100 W/LUV-L330-Mix/LUV-L330-Mix2/UVS-201D-1/
UV-M10-P / S/UV-M03A/UV-M 08/UV-351