




电子气体行业的主要技术壁垒包括:
(1)提纯技术难度大。电子气体纯度往往要求(5N-6N)级别,而金属离子要求10-9~10-12级。 气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法,其中精馏法应用***为广泛。精馏法可分为连续精馏法和间歇精馏法,连续精馏法操作稳定,并且得到的气体产品纯度较高,质量好。吸附法分为变压吸附法和变温吸附法,与变压吸附法相比,特种气体供应,变温吸附法能耗较高、吸附量小,再生需要加热介质,吸附剂寿命较短。膜分离法为一种新型的高分离、浓缩提纯及净化技术。
(2)气体输送,充装,温州特种气体,和储运。超高纯电子气体的生产和使用需要高质量的钢瓶等储运容器,对气体输送管线、阀门和接口要求十分严格,以避免二次污染。随着气体纯度的提高、产品种类的增多,对包装容器的要求也越来越高,
(3)分析检测与质量控制。超高纯电子气需要对ppm(10-6)至ppb(10-9)级别的杂质进行分析,金属离子更是要求检测线达到ppb(10-9)至ppt(10-12)。
电子工业生产中所需的高纯气体
随着现代分析仪器的发展,特种气体生产厂家,国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面,也已进入在线分析阶段,且分析检测的灵敏度高,可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而,由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量,特种气体批发,一般需要把气体样品***行液体化,即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中,以该溶液为样品,才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级,因此,对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。
灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,环氧乙1烷可杀灭细1菌(及其内孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。美国化学家Lloyd Hall在1938年取得以环氧乙1烷消毒法保存香料的专利,该方法直到今天仍有人使用。由于它的活泼型,杀菌力强、杀菌谱广,对物品损害轻微等优点,环氧乙1烷和二氧化碳的混合气体已成为目前***主要的日常低温灭菌方法之一,主要应用于医1疗器械(绷带、缝线及***器具)、包装、纺织品、麻1醉、文1物档案、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的消毒1杀菌。
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