目前真空检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。
真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。
超声波检漏仪的缺点：
实际在真空检漏工作会发现由于火电厂现场设备较多，运行时会出现各种频率的声音，外界环境因素严重影响了超声波检漏仪准确性，致使超声波检漏仪无法正常适应实际现场工作情况。
氦气质谱仪的优点：
1、氦气属于惰性气体，化学性质稳定、分子式小、***、不***烧。
2、氦气价格低廉、易购买。
3、一般氦气质谱仪采用液晶触摸屏设计，内部数据可以根据现场设置，灵活性较高。
4、一般氦气质谱仪安装通讯接口，适合远方的数据传输。
5、氦气质谱仪精度较高（可检漏率≤5×10-12mbar.L/s），吸气口处抽速快，漏率讯号的时间常数(lt;1s)。只要是汽轮机机组真空系统存在极其微小的漏点一旦吸入氦气分子就能迅速反应到液晶屏幕上。
如今我们都知道在我们接触的空间里，充满了各种大气形成一个标准大气压，而在给定的空间内低于标准大气压的气体状态称为真空。所谓真空，仅仅是指气体稀薄的状态，没有任何物质的“真空”是不存在的。一个密闭的空间如果要保持持续的真空状态，就要避免泄漏的状态发生，而泄漏量的大小就是漏率。在压力的作用下空气会产生流动，真空状态也会发生变化，而PV(压力和体积)不变.漏率的表示方法就是 漏率公式：Ｑ=PV∕t Pa.m3/s
漏率是一个描述体积流量的变量. 漏率表示在规定的时间内在已知的压差力下, 多少气体通过漏孔.例如: 如由于一个漏孔的存在, 精却地有 1立方气体在 1 帕的差压下, 在 1 秒的时间内流出, 这个漏率就是 1帕?米3/秒 . 您也可以说气体容积为 1 立方米在 1 pa压差下每秒的逸出量. 单位的另一个变通的描述是: 如在一个容积为 1 立方的容器内每秒改变 1 帕的压力的漏率为 1 帕?米3/秒。
