等离子清洗机特点和优点:
1、直接,下游和无离子(专利)等离子体的极限应用灵活性,允许在不暴露于离子和紫外线的情况下进行处理
2、轻松集成各种工艺设备,包括线焊,贴片,分配,模具和标记
3、需要小占地面积的薄型结构,所有的服务组件都可以从前面轻松访问
4、紧凑的三轴对称室和专有的过程控制,***的工艺均匀性
5、行业优质的处理能力,等离子清洗机刻蚀原理,周期短






等离子清洗机型号和配置:
等离子体处理系统:符合***半导体和电子封装等离子体清洗和等离子体处理要求的标准配置。
该型号专门用于处理较大的基板,具有大容量的等离子体室,即9.24升,或标准容量的两倍。
等离子体处理系统:全自动化,高通量等离子体处理系统,用于引线框条,层压基板和其他带状微电子元件。由于食谱是软件驱动的,系统需要***少的硬件交互或工具,所以可以轻松地转换到新的杂志或条形尺寸。实际上消除了操作员对条或杂志的处理。
等离子清洗机由高质量的阳极氧化铝和陶瓷夹具构成,等离子机操作程序,具有出色的耐久性,等离子清洗机价格,经济实惠的反应离子蚀刻在紧凑的台式配置中,各向异性反应离子蚀刻等离子体系统是完全***的.
等离子体限制环将等离子体直接聚焦在晶片上,等离子,以加速蚀刻,提供均匀的等离子体覆盖,并将等离子体隔离在晶片本身上,而不是隔离其周围或周围的区域。过程温度可以保持较低,因为增加了蚀刻速率的能力,而不需要增加电极温度或增加夹头的偏置。该环由绝缘的非导电材料制成,而铝到铝等离子体传导路径被限制在晶片区域。环与胶带和晶片框之间有2mm的间隙。由于没有等离子体产生或等离子体到晶片和胶带的底部,因此底切和分层,并且晶片表面上没有溅射或胶带沉积。整个室容积减小到仅仅晶片上方的区域。R等离子体蚀刻系统专为***的蚀刻应用设计,例如:去除用于故障分析,去封装和介电材料去除的中间膜,蚀刻氧化物,氮化物,硅,金属,ILED或IC器件制造,环氧树脂去除; 光致抗蚀剂剥离和去除。
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