分子泵 分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场所是用来替代低温泵，特别是溅射、刻蚀和LCVD等安装都采用复合分
子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了进步
抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其
他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜安装上应用，既进步了消费效率又改善了膜层质量。随着中
国半导体工业、薄膜产业和科学研讨事业疾速开展，分子泵应该是中国真空泵制造业开展的***。首先，两级椎体真空泵选型，分子泵
要从小到大树立完好系列，并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场所的需求。
干泵 国外干泵市场的不时增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的疾速开展。在日本，半导体
行业已全部用干式真空泵替代油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵替代了油封式机械泵，大大提
高了产品的性能和质量。为了满足不同应用范畴和不同工况的请求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、
螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从
20m3/h～500m3/h。
3）罗茨泵－水环泵并联机械真空泵：此机组主要用于需求处置大量水蒸汽，且极限真空度请求较高的抽真空系
统，例如在真空枯燥方面。请求处置大量水蒸汽的真空系统中，两级椎体真空泵参数，运用水环泵是较适宜的，但由于其极限真空度不
高，致使整个机组的极限真空度较低。固然在请求真空度较高的抽真空系统中，两级椎体真空泵价格低，需求极限真空较高的机械真空泵
作为前级泵运用。但由于水环泵的耗电量大，效率很低，噪声高，在需求长时间的真空枯燥系统中，用水环泵作
为罗茨泵前级泵很不经济。 在上述状况下，可将气镇机械真空泵与水环泵并联，作为罗茨泵的前级泵。真空枯燥时，先用水环泵停止预抽
，直至水蒸汽大量减少时，云南两级椎体真空泵，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。如需求较长时间才干完成枯燥的场所，所需冷
却水和功率都较少，
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