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应用于LED产业的特种气体

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，邯郸特种气体，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，特种气体供应，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，特种气体批发价格，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，哪里有特种气体，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、***1基jia。

半导体器件性能的好坏，在很大程度上取决于所用电子气体的质量，电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地1推动半导体器件质的飞跃，正因如此，发达***都在积极发展具有自主知识产权的电子化学气体，并且取得了明显的效果，由于电子气体质量决定着ic技术的发展，而半导体器件又广泛地应用于民用和军1工领域，且发展势头强劲，它影响到国民经济和国防的许多方面，因此，有关电子气体的生产、净化、包装、分析等在国际上多属高度保密的技术。同光电子、微电子工业一样，我国电子气体的研究与生产起步较晚，资金投入量也显得相对不足。改革开放以来，中国***已将ic产业列为******发展的支柱产业，因此，电子工业、光电子产业、光纤制造业发展迅猛。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，

其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体，其中常用的有20～30 种。

在集成电路制造应用方面具体包括集成电路芯片制程、化学气相沉积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用；在太阳能电池应用方面具体包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池生产工艺和气体应用、薄膜太阳能电池生产工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面具体包括化合物半导体的应用、MOCVD／LED生产工艺和气体应用；在液晶显示器应用方面具体包括TFT／LCD的应用、TFT／LCD生产工艺和气体应用；在光纤应用方面具体包括光纤应用和光纤预制棒的生产工艺和气体应用。