高温阻断试验台
系统概述
交流阻断（或反偏）耐久性试验是在一定温度下，对半导体器件施加阻断（或反偏）电压，按照规定的时间，从而对器件进行质量检验和耐久性评估的一种主要试验方法。
一般情况下，此项试验是对器件在结温（Tjm ℃）和规定的 交流阻断电压或反向偏置电压的两应力组合下，进行规定时间的 试验，并根据抽样理论和失效判定依据，确认是否通过， 同时获取相关试验数据。
该系统符合MIL-STD-750D METHOD-1038.3、GJB128、 JEDEC标准试验要求。可供半导体器件配以适当的温度可控装置， 作交流阻断（或反偏）耐久性/ 筛选试验。能满足IGBT进行高温反 偏耐久性试验、高温漏电流测试（HTIR）和老炼筛选。
系统组成
漏电流保护回路
在每一试品试验回路中都配置有0.1A的***丝，当试品在试验期内发 生劣化或突然击穿或转折，***丝将熔断，设备面板上的相应工位的 ***灯点亮示警，同时蜂鸣器报警提示。
试验电压保护回路
试验电压由衰减板衰减取样后反馈到控制单元，通过峰保器输出与电 压设定值比较，当试验电压高于电压保护设定值时，过压报警器响， 同时保护继电器动作切断高压输出。
高压回路
由电源开关、控制继电器、自藕调压器、高压变压器、波形变换电路 组成，产生规定的试验电压并通过组合高压线排，接入试品工位。
电特性参数测试回路
试验电压由电压取样回路，经采集、保持 电路送到设备的数字电压表显示；
试品漏电流对每一试品漏电流***采样，通 过设备上的波段开关分别进行转 换，传送到数字电流表显示。
技术指标
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试验电压 |
VDRM.VRRM/VRRM 300V ~ 4000V 连续可调， 50HZ工频 |
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试验电流 |
RM/IRRM 1.0 mA ~200.0mA |
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试验温度 |
室温～150℃；温度均匀性125℃&plu***n;3℃； 温度波动度&plu***n;0.5℃ |
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试验工位 |
10工位 |
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试验容量 |
80×16=1280位 |
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加电方式
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器件试验参数从器件库中导入，ATTM自动加电试验 方式，可单通道操作；老化电源可根据设定试验电压 和上电时间程控步进加载 |