




LED产业的特种气体技术发展趋势市场
随着化合物半导体技术的日益成熟和产业化进程的加快,外延技术需要的超纯特种气体和有机源的研制和制造技术不断提升。主要表现在:气体和有机源的深度纯化技术;气瓶及管路内壁的洁净处理技术;ppm、ppb、ppt气体杂质检测技术;ppb、ppt级金属杂质的净化控制及分析检测技术;排放尾气的解1毒报警技术;一体化无污染供气系统的建立;特种气体混合气的配制技术;配套器件技术以及0.01~0.002μm颗粒的测试过滤技术等。为了适应日益发展的下游产业的发展需要,特种气体生产商在产品纯化、灌装、检测等环节取得更多的创新技术。
特种气体是光电子、微电子等领域。特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,常州特种气体,并从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。
高纯气体(High Purity Gases)气体是工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氢,氮,氦,ya而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.199%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,电子特种气体,在半导体工业,特种气体厂家供应,高纯氮,氢,ya,氦可作为运载气,保护气和配制混合气的底气。
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