工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。在满足生产工艺和噪声要求的前提下，空气洁净度等级高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，泳池净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，新疆净化设备，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室(区)的窗户，沼气净化设备，顶棚及进入室内的管道，风口，净化设备厂家，灯具与墙壁或顶棚的连接部位是否密封。洁净室(区)的内表面是否平整光滑，无裂缝，接口严密，无颗粒物脱落，耐受清洗和消毒。洁净室(区)的墙壁与地面的交界处是否成弧形或采取其他措施，便于清洁。生产区内是否使用无脱落物，易清洗，易消毒的卫生工具，其存放地点是否对物料，半成品，成品造成污染，并限定使用区域。
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