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洁净室测试:

测试项目包括得不限于洁净空调系统的风量平衡，FFU送风量，扫描检漏，河北洁净室，洁净度测试，正压，温度，洁净室价格，湿度，照

度，洁净室价钱，噪音，气流组织防静电等项目的测试，具体的测试项目按标准，规范执行.含测试所需的所有材料，设备

及仪器，人力等

1测试前须作出详细的测试方案经审批后才能进行实施

2测试人员须有相关经验并具有相应资质

3所有的测试仪器经检验合格并在有效期内

4 出具详细的测试报告

5洁净室的测试必须有具有相关测试资质的第三方机构出具的测试报告

6洁净室的验收以第三方测试报告为依据进行验收

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污染是可能将新兴的芯片生产工业扼杀于摇篮中的首要问题之一。半导体工业起步于由航空工业发展而来的洁净室技术。如今，大规模的复杂的洁净室辅助工业已经形成，洁净室定制，洁净室技术也与芯片的设计及线宽技术同步发展。通过不断地解决在各个芯片技术时代所存在的污染问题，这一工业自身也得到了发展。以前的一些小问题，有可能成为当今芯片生产中足以致命的缺陷。半导体器件极易受到多种污染物的损害。这些污染物可归纳为以下四类。分别是：1. 微粒 2. 金属离子 3. 化学物质 4. 细菌

空气净化方法

1 、整体净化：可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧全面地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外，而达到好的除菌效果。⑴高效过滤除菌技术：空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。

过滤洁净原理：①网截阻留；②筛孔阻留；③静电吸引阻留；④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此，过滤洁净技术是一种综合作用的结果。⑵滤材结构：生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材，所用滤材有：玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中 0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ，超高效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。