外抽式真***装机的真空室介绍
真***装机设备种类繁多，但无论何种真***装机设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。双室真***装机的真空室，它有两个真空室，真空室盖可有一个或两个，可称作单盖双室、双盖双室。
单盖双室真空系统，以小气室安装在真空室盖上真空系统为例。单盖双室真***装机真空系由小气室阀、导入大气阀、充气阀、截止阀、真空泵组成。因真空室的抽气口在两个真空室之间，无论盖在哪个真空室上，都用这个抽气口，结构较简单，只是比单室多一个充气阀。如果充气用三位三通阀，则可通过切换来改变所充气体的去向，此时阀数可和单室一样。另一种情况是小气室安装在真空室底部，这时不能共用小气室阀，两个真空室都必须有小气室，相应要增加一个小气室阀或只有一个两位三通阀。
双盖双室真空系统一般由万向转轮、机座、控制面板、箱底、四连杆、手柄、箱盖、充气嘴、袋夹组成。总起来说，一个较完善的真空系统由下列元件组成：抽气设备；真空阀门；连接管道；真空测量装置；其它元件（例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等）。