现在，可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式，原装进口里其乐机械泵价格，爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑，如果用户认为耗电量对他来说蕞为重要而氮气用量对他来说蕞不重要，那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来，里其乐，对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺，而使得你的库存控制简单化，那么外部压缩型螺杆式是你蕞好的选择。
莱宝真空泵VARODRY螺杆泵介绍
VARODRY无油螺杆泵具有优异的性能。它保证了所需的操作压强、短节拍抽空和***终的系统可用性和耐用性，特别适合潮湿或多尘的工艺。
VARODRY易于安装和连接，并且由于其紧凑的设计，原装进口里其乐机械泵哪家好，可以很容易地集成到新的或现有的系统中。
VARODRY是100%的风冷泵，原装进口里其乐机械泵批发价格，无需冷却水。莱宝真空泵的开发人员在设计中使用了较少的、经过验证的机械零件和部件。VARODRY使其用户在日常操作中实现了低维护要求、完全无油排放和很小操作噪音。此外，该泵是干式和清洁的，从而防止油和颗粒排放或油泄漏，彻底杜绝油返回真空室污染产品和工艺的可能性。
总而言之，莱宝真空泵的VARODRY是为实现高性能和可靠运行设计的，***和运营成本低。它的众多优点，使得首期推出的两个抽速型号VD 65和VD 100，已经成为客户爱不释手的真空设备。“对用户来说这款真空泵用起来非常简便，因为它既不需要冷却水也不需要压缩空气，处理通用型工艺介质坚固耐用。”Leybold工业真空***商业发展经理Uwe Zoellig解释道。
因此，VARODRY确保了系统的不间断运行，它的众多优点使其成为所有工业真空应用的理想选择。
(1)莱宝真空泵的进气口压强过高。想办法减少真空泵的进气量，降低进气口的压强，减少压强过高对莱宝真空泵的损害。
(2)油量过多产生喷油，这个主要原因就是莱宝真空泵内的油太多，想办法放出多余的油，给真空泵加油时，不要超过规定限额。 (3)当莱宝真空泵前后端面不平整或端板未压紧，会造成端面漏油，这个时候要把端面修平并压紧前后端板；
(4)箱体有漏孔。应检查谓孔部位并堵死，
(5)暴露大气引起喷油，应立即关闭低真空阀，对莱宝真空泵进行检查；
(6)转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不正确。应仔细检查并更换玻损的密封圈，装配螺时，用力要均匀，
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