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准分子不是稳定的分子，哪里有准分子预混气厂，是在激光混合气体受到外来能量的激光所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒，准分子激光是一种脉冲激光，因谐振腔内充入不同的稀有气体和卤素气体的混合物而有不同波长的激光产生。

准分子激光器适用于***方面的应用，如光掩膜版的制作、检查和量测。重复率为1KHz时，激光器能稳定发射输出能量为16mJ的248nm激光（KrF型号）和6mJ的193nm激光（ArF型号）。它包括一个激光头（激光头安装在一个适于洁净室环境下使用的不锈钢盒子里）和一套安装在工业PC板单独的电源系统。激光器由严格的标准组件构成，可单侧打开进行激光头维修，因此很容易与大多数工作站进行组合使用。

准分子激光器出现于七十年代初，由于其单光子能量大，量子效率高，可实现高功率运转且处于紫外波段，因此短短的十几年中得到了迅速发展。进入八十年代，商品化准分子器件不断涌现，在实验室和工业界应用前景越来越广，使得该类器件成为气体激光器中发展***快的器件之一。 但是与其它气体激光器相比，准分子器件的***1大不足是光束质量差。为此，国际上，在八十年代后期，开始在商品器件上引入非稳腔以改善光束质量，如西德 Lambda Physik公司的产品〔幻。国内虽然在实验室内实现了KrF输出〔2〕〔3〕，但实用型器件至今仍停留在单一的XeCI(3O8nm)谱线，准分子预混气生产厂家，没有能很好地解决材料对FZ的耐腐蚀问题，北京准分子预混气，因此限制了更短波长实用器件的出现，如KrF(2 48nm)，ArF(193nm)等。另一方面，大部分器件采用平一平腔结构，光束发散角高达3~4个mrad，而刻蚀、遥感等领域则需要发散角小一个数量级的激光输出。