




工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途,对不同特种气体的纯度或组成、***杂质允许的***1高含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求,属于高技术,高附加值产品。通常,可以将特种气体分为三类,即高纯或超高纯气体、标准校正气体和具有特定组成的混合气体。气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医1药医1疗等部门,均使用大量的常用气体或特种气体。
电子气体中的金属杂质主要来源于:1) 生产环境和制造过程中引入的微量金属杂质;2) 气体运输和储存过程中机械带入的金属杂质;3) 使用过程中外界环境引入的金属污染。这些金属杂质在气体中主要以0.1~20 μm悬浮颗粒或小于0.1 μm的气溶胶形式存在。只有将气体中的颗粒通过分离进行排除,才能减少或消除金属杂质。然而,目前一般的过滤器的孔径***1小为0.2 μm,电子特种气体,无法完全消除金属杂质。因此,建立气体中痕量金属杂质的检测方法,对高纯气体的生产、储存和运输等均具有指导意义。
电子工业用气体统称电子气体,指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体,温州特种气体,是微纳电子制造***安全战略产业的关键支撑材料,特种气体批发价格,其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业。
近年来,特种气体批发公司,随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展,对电子气体的纯度和一致性要求越来越高,除了应具有5 N (99.999%)以上纯度,还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级,气体的品质要求高度稳定且一致。
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