光学公差分析-福建光学-墨光SYNOPSYS

SYNOPSYS提供可以简化设计自由曲面的过程。阅读帮助文件中的FFBUILD。我们将展示如何设计一个具有自由曲面的反射系统。

第1步是初略的列出几何图形。这里有一个离轴三反镜的例子:光将从表面1的左侧进入，打到2，福建光学，3和4的反射镜，然后进入5处的图像平面。这是FFBUILD的输入：

FFBUILD

SYSTEM

ID EXAMPLE FFBUILD

OBB 0 2 25 0

W***L CDF

UNI MM

CFOV

END

GEOM

2MIRROR 0 0 140

3MIRROR 0 40 30

4MIRROR 0 40 120

5IMAGE 0 -30 60 -10 10

END

SHAPES

2ZERN

3ZERN

4ZERN

END

让我们进一步改进它。 我们打开Edge Wizard（MEW）并选择Create All。 为两个ACON执行此操作。 现在运行上面的MACro，打开开关20，为HBAR = 1和-1添加TRA请求，照明光学，并将PER请求更改为RSOLID。 图片如下。 我们有一个非常好的开始。（L42L1）

这是一个关于如何设置这样的系统的简短课程。 SYNOPSYS可以很好地显示系统和图像质量 ，但它不会模拟两个通道之间的干涉。 该程序可以模拟波前和参考光束之间的差异（参见HELP IFR），但傅立叶变换干涉仪中的信息来自波前的绝1对相位，不是由SYNOPSYS计算的。 当然，这是无关紧要的，因为理论已经非常成熟，我们所关心的只是这些系统中的图像质量。

下一步是在***终图像之前在空间中添加额外的折叠镜和检测器光学系统。

你可能会注意到当光束通过分束器时，光束中有一个小的偏心 - 我们忽略了它。 但这也不难建模，如果你真的想要那么精1确，只需调整主镜上的偏心来补偿。

让我们尝试添加镜片来检验是否对像质有帮助。在PANT文件之前，添加如下命令行

AEI 4 1 123 0 0 0 20 2运行宏。程序建议在第4个镜片组中添加了一个镜片，像质得到很大的提高。我们想进一步改进像质。我们发现第1个镜片中心较厚，但它的边缘很薄。现在的厚度是多少?

SYNOPSYS AIgt;1 TH?

The thickness or spacing of surface number1is35.36316744

我们的评价函数里有一个监视器，可以防止中心厚度变得太大，我们已经指1定了一个35毫米的默认控制。但这个透镜是一个体积相当大，光学公差分析，显然我们需要增加允许的厚度。将ACC监视器更改为

ACC 50 1 1注释掉AEI命令行，再一次优化，模拟退火(22，2，50)。评价函数下降了。但是镜片2的厚度太薄，所以在MF中添加一个新的命令:

ADT 7 .1 1取消AEI命令行的注释，光学镜头设计，并重新优化。这将控制每个镜片的直径/厚度比，并添加一个镜片。现在系统看起来很好。把这个设计分配给下一个ACON，我们要用它来查看物距5米处的像质。点击按钮;然后输入如下命令：

ZFOCUS 5000 4 90 5