TREK 640静电卡盘优化调整器

 TREK 640静电卡盘优化调整器

TREK 640是一种用于评估静电卡盘/夹盘的静电压并优化波形，以***小化卡盘的松开时间，***大化卡盘夹持的分析工具，为ESC静电卡盘系统提供***佳

的晶片加工工艺。

输出相位
电压A（基准相位）
相位A输出电压范围：0 to &plu***n;2KV or Peak AC (4KV p-p)
相位A输出电流范围：0 to &plu***n;5mA or Peak AC (10mA p-p)
电压B（相位B=[-1]x相位A）
相位B输出电压范围：0 to &plu***n;2KV Peak AC (4KV p-p)
相位B输出电流范围：0 to &plu***n;5mA or Peak AC (10mA p-p)
放大器性能（每个相位）
大信号带宽（1% 失真率）：    DC to > 1.2 KHz
转换速度：    > 15V/μs
DC稳定：    优于满量程的0.1%
输出杂讯：     小于100mV rms
随温度飘移：     小于350ppm/℃
小型号带宽（-3dB）：     DC to > 5KHz
稳定时间：     < 300μs，对于0-2KV的阶跃变化
偏移电压：     小于500mV
随时间飘移：     小于100ppm/hour,无渐增
输出电压监测器（背板连接器）
随温度飘移：小于350ppm/℃
稳态电压泄漏电流监视器性能
抓取晶片检测性能（通过程序设置临界值）：为指明晶片抓取状态，由低压正弦波产生的电容性电流，在相位A及相位B输出叠加，可被监测但是也可

通过程序设置禁用。叠加的波形用于显示无晶片，有晶片，或晶片夹紧状态。
电容性负载选择：根据系统及静电卡盘的物理构形，卡盘抓取的电容状态范围可通过程序在0-10，20 或30nF（相间）间选择。
参数
尺寸：    43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D
面板宽度：    482.6mm
重量：    3.86Kg
连接器：     15针D型ITT Canon，用于连接远程监控设备，9-针D型ITT Canon RS-232,3针 FCT D型 高压，标准A型 USB，以太网（选配）及面

板
PowerON/OFF电源开/关：     2位摇杆开关
运行环境
温度：     0℃-35℃
湿度：     达85%，无结露
海拔高度：    达2000m
电气参数
DC输入接口：     2.0mm 锁定DC 插孔，中心触点为正极，壳部为负极（与Switchcraft S761K 插头连接）
接地：     接地螺栓
电源要求：    24VDC，1.7A