




在半导体制造业中,可以把气体分成大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,特种气体供应,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,扩散等过程中使用的各种化学气体,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
据相关数据统计,目前我国特种气体年销售额中,电子行业约占40%,石油化工约占40%;医1疗环保约占10%,生产特种气体厂家,其它约占10%。以电子气体为例,深圳特种气体,电子气体是指用于半导体及其它电子产品生产的气体。随着我国高新技术、新型能源、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件的迅猛发展,将带动电子特种气体的发展。
前瞻网数据显示,中国特种功能电子气体市场规模逐年增长,仅2016年,中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是,从产业链以及技术层面欧美***占据绝1对的领1先地位。可喜的是,随着新技术、新成果不断涌现,将加速我国电子特种气体产业的蓬勃发展,我国的特种气体产业需求有望持续增长。
特种气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向,这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求,以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中,精馏技术的操作比较复杂,目前精馏的汁算还处在半经验状态,但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求;吸附分离技术还有待于吸附剂的发展;膜分离技术是较新的分离模式,它的发展很快,特种气体批发,已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之,这三种方法各有优缺点,适应不同的场合,满足不同的要求,为特种气体的分离做出各自的贡献。
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