干式真空泵种类很多,按工作原理可分为两类:容积式干式真空泵和动量传递式干式真空泵。不管哪类的干式真空泵,对其要求又有哪些呢?
一般对干式真空泵的要求为:清洁;安全;耐磨;造价低;维修方便;性能稳定;振动小,噪音低。只有这样,干式真空泵才有使用和推广的价值。在清洁的要求方面,对于哪些用油润滑的干式真空泵都有一个潜在的油蒸气的污染源存在,真空泵,要采取一定措施加以解决。
在半导体产业主要应用对象的干式真空泵,会在许多抽气工艺过程中出现一些颗粒物,一般说来,在干式真空泵中出现颗粒物有三种情况:
1、当泵内压力***时引起气固变相过程的发生;
2、在泵内产生反应气体的生成物;
3、抽气过程混入的颗粒物。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,进口爱发科真空泵机组批发价格,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油及***等生产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,进口爱发科真空泵机组哪家好,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
真空环境下,物质的反应温度得以降低,进口爱发科真空泵机组厂家,去除反应物成分变的更加容易,能很好的降低成本和提高产品质量。蒸馏分离可以将多种具有着不同温度、压力、成分和状态的层面或部分分离开。随真空度和温度的改变,各部分具有不同的浓度和温度,可以有效的从混合物质中分离出来。干式螺杆真空泵可以从液体中把气体成分除去,提高物理性能,改善产品的质量,还可以有效避免交叉污染的发生。
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