特种气体厂家***-安徽谱纯-大连特种气体

应用于LED产业的特种气体

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，大连特种气体，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、***1基jia。

电子工业生产中所需的高纯气体

随着现代分析仪器的发展，国外对高纯气体的分析经历了离线分析(off-line)、在线分析(on-line)和原位分析(in-situ)三个阶段。我国在高纯气体分析方面，电子特种气体，也已进入在线分析阶段，且分析检测的灵敏度高，可以实现气体中痕量金属杂质的分析测试 。然而，由于一些气态样品不能直接导入分析仪器进行金属成分的测量，一般需要把气体样品***行液体化，即将含有金属杂质的气体样品捕集到溶液中，以该溶液为样品，才能选定合适的检测手段进行分析。由于高纯气体中的金属杂质含量低至ppb至ppt级，因此，对测定时使用的取样方法(防止样品污染)、检测方法以及分析测试仪器(灵敏度和检测限等)均提出了更高的操作要求。本文综述了电子气体中金属杂质的一些捕集方法以及几种不同的检测方法。

特种气体产品供应***有代表性的公司为美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国AirLiquid、日本酸素等，特种气体报价，这些公司的产品在国际电子气体的市场占有主要份额。国内特种气体的研究开发取得了一定的成绩，特种气体厂家***，形成产业化的还很少，使得绝大多数产品仍然依赖进口。在***“863”项目的支持下，公司生产的高纯氨产品纯度99.99999%以上，可以替代进口产品，应用在氮化jia生产中。