压电陶瓷是指把氧化物混合(氧化锆、氧化铅、氧化钛等)高温烧结、固相反应后而成的多晶体，并通过直流高压极化处理使其具有压电效应的铁电陶瓷的统称，是一种能将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料。由于具有较好的力学性能和稳定的压电性能，压电陶瓷作为一种重要的力、热、电、光敏感功能材料，已经在传感器、超声换能器、微位移器和其它电子元器件等方面得到了广泛的应用
位置比例增益1、设***置环调节器的比例增益；2、设置值越大，增益越高，刚度越大，相同频率指令脉冲条件下，位置滞后量越小。但数值太大可能会引起振荡或超调；3、参数数值由具体的伺服系统型号和负载情况确定。位置前馈增益1、设***置环的前馈增益；2、设定值越大时，表示在任何频率的指令脉冲下，位置滞后量越小；3、位置环的前馈增益大，控制系统的高速响应特性提高，但会使系统的位置不稳定，容易产生振荡；4、不需要很高的响应特性时，本参数通常设为0表示范围：0~100%。
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通过调节脉冲重叠量可控制刻槽深度，使硅片很容易沿沟槽整齐断开，也可进行多次割划而直接切开。由于激光被聚焦成***的光斑，热影响区***，切划50μm深的沟槽时，在沟槽边25μm的地方温升不会影响有源器件的性能。激光划片是非接触加工，硅片不会受机械力而产生裂纹。因此可以达到提高硅片利用率、成品率高和切割质量好的目的。还可用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的划片以及硅、锗和其他半导体衬底材料的划片与切割。
位置比例增益1、设***置环调节器的比例增益；2、设置值越大，增益越高，刚度越大，相同频率指令脉冲条件下，位置滞后量越小。但数值太大可能会引起振荡或超调；3、参数数值由具体的伺服系统型号和负载情况确定。位置前馈增益1、设***置环的前馈增益；2、设定值越大时，表示在任何频率的指令脉冲下，位置滞后量越小；3、位置环的前馈增益大，控制系统的高速响应特性提高，但会使系统的位置不稳定，容易产生振荡；4、不需要很高的响应特性时，本参数通常设为0表示范围：0~100%。
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