氦气质谱仪
氦气质谱仪主要由吸入系统、离子源、磁分离器和离子收集极等部件组成。将氦气质谱仪吸入管道安装到运行真空泵排气口，检漏人员将氦气喷射到预判漏点位置，如果存在漏点，则氦气被吸入凝汽器，***终氦气由真空泵排气口排出，吸入系统将排出的氦气送到氦气质谱仪，内部处理后数据将在氦气质谱仪液晶显示界面上显示。
真空检测公司采用直径约为1Lm的小孔获得了10-10 m3/s量级的分子流导，将小孔入口分子流上限压力延伸至104Pa，仅用一台满量程为1.33×10-4 Pa的CDG作为参考标准，通过直接测量和取样膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力，拓展了标准流量范围。此外，装置设计了一套抽气系统，通过切换阀门***或同时对质谱分析室和稳压室进行抽气，减小了装置的外形尺寸和重量。因此，与实验室校准装置相比较，所研制校准装置具有成本低、体积小、重量轻、便携等优点，适合实验室和现场校准真空漏孔。
漏孔的漏率也就是通过漏孔的气体流量，这个气体流量受环境温度、漏孔两端的压差和气体种类等因素的影响。因此为了客观地反映漏孔的大小，就必须考虑到上述三个因素。一般为了设计、计算和运用方便起见，将漏孔的漏率定义为：在环境温度23℃条件下，漏孔的一端为一个标准大气压，而另一端为真空状态时，单位时间内流过漏孔的空气的气体量。
一个真空系统（或容器）要求做到不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量，简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。
