




特种气体是光电子、微电子等领域,特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。高纯电子特种气体被形容为半导体工业的”血液”和”粮食”,是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等***制造业的重要原材料,属于***加快扶持发展的战略性新兴产业。然而早些年,相关产品被国外垄断,市场定价权掌握在国外厂商手中。
随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展,特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,从应用领域划分,特种气体厂家,主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。
近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体的品种也与日俱增,据不完全统计,特种气体销售,我国已有的特种气体达260余种。随着非低温气体分离技术(吸附、膜分离)、混配技术和提纯技术的发展,更多的特种气体产品将逐步走向市场。电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),特种气体公司,碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与发达***相比,南京特种气体,尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。
特种气体(Specialty gases)是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体广泛应用于半导体制造行业,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体中包含了大量的***、***的***性大的气体,因此,特种气体的使用和贮存有别于普通的工业气体。特种气体按性质分类:腐蚀性气体、***性气体、氧化氧气体、惰性气体、***性气体。
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