等离子-晟鼎精密-13.56mhz等离子清洗

等离子体处理系统：设计用于船舶，睿宝等离子清洗机，托盘或其他载体上的微电子设备的高通量在线处理;是前置倒装芯片底部填充（FCUF）工艺的理想选择。独特的船只旁路功能优化了生产效率，多个在线等离子模块和生产就绪的双车道船只处理提高了吞吐量。

等离子体处理系统：设计用于引线框条，层压基板和其他带状电子元件的高通量处理。处理每个等离子体循环***多5个条带，并且具有较长等离子体室的每个等离子体循环可处理多达10个条带。操作将零件返回同一个杂志。

达因特100升，200升，300升，500升大腔体等离子清洗机：专为高达300mm（12英寸）直径的半导体晶圆的高通量处理而设计。获得专利的等离子体室设计提供***的蚀刻均匀性和工艺重复性。它的三轴对称腔确保晶圆的所有区域均匀处理，13.56mhz等离子清洗，同时严格控制所有工艺参数确保高度可重复的结果。

1、软件控制切换从200mm到300mm晶圆的过渡

2、生产就绪的晶片处理支持晶片的背面或边缘夹持传递

3、模块化设计允许单室或双室系统配置

4、装载端口支持200mm开盒或300mm

5、独特的末端效应器设计可以传递各种晶圆厚度和重量

6、套件将直接在晶片上方的等离子体分布分离，大限度地提高均匀性和产量

达因特SPA系列大气等离子清洗机，经济***的真空等离子处理机分为直喷和旋转型，SPV等离子体处理机是真空腔体，台式﹨完全***的，只需较小的工作台面积.

SPA系列是大气等离子清洗机，其中分为直喷和旋转型 ， SPV等离子体处理机是真空腔体，台式﹨完全***的，需要较小的工作台面积。系统机箱容纳等离子体室，控制电子设备，13.56 MHz射频发生器和自动匹配网络。通过互锁的门或可拆卸的面板提供维护通路。等离子室***多支持7个可移动和可调节的动力或接地货架，以适应各种零件，零件和零件运输工具，包括杂志，托盘和船只。真空等离子体处理系统可以适应各种各样的工艺气体，等离子清洗机气体，包括氧气，氢气，氦气和氟化气体。两种型号都配有两（2）个电子质量流量控制器，用于气体控制，另外两个（2）可选（***多4个））。方便的设施连接，用于验证过程中使用的定期校准要求。