等离子体系统是一种有效的等离子体处理,具有用于批量处理的超大型室。它是一种经济***的真空等离子处理机,air 等离子清洗,用于处理各种零部件。它完全***,需要小的占地面积。泵,腔室,控制电子设备和13.56 MHz射频发生器都包含在其外壳内。AP-1500等离子处理设备还提供滑出式水平货架,便于装卸。其紧凑,服务友好的设计占地面积小,专为从系统前后的维护而设计。因此,多个真空等离子体处理系统可以并排放置,以占地面积利用率。泵***在辊子上,便于拆卸。控制系统可以在多个级别进行密码保护,以防止未经***的配方修改。这确保系统从一批到***后一次的性能一致。






晟鼎大气等离子清洗机设备提供了优质的处理的均匀性和一致性的过程,等离子体系统在一个非常可配置的平台中提供***的等离子体处理质量和自动化功能,从而实现半导体和电子封装的高产量等离子体处理和等离子体清洗, 根据室内套件和电极配置,等离子体室能够进行诸如电介质蚀刻,等离子清洗,光致抗蚀剂除去/灰分,低温等离子表面处理机,氧化物去除,有机污染物清洁和表面活化等过程。
等离子清洗机支持手动和自动化操作,小型等离子清洗机体积和专有的等离子体过程控制实现了***的短周期时间,使用专有的算法可以在几秒钟内实现对腔室的功率.
等离子清洗机支持手动和自动化操作(内置或内置处理程序),特别均匀和紧凑的腔室设计允许可互换的处理配置和等离子体模式,三轴对称等离子体室确保产品的所有位置均匀处理,而对所有工艺参数的严格控制确保了产品与产品之间可重复的结果。
小型等离子清洗机体积和专有的等离子体过程控制实现了***的短周期时间,而其纤薄的结构使占地面积需求小化。通用架构可处理多种产品形式因素,包括载体,条带,层压板,及晶片。根据吞吐量和产品形式的要求,系统可以配置为单个和多个条带或引线框架,晶圆处理和***于岛屿生产环境的杂志到杂志的处理。系统自动回收到等离子体就绪状态,补偿真空压力,温度和不同批次尺寸的变化。使用专有的算法可以在几秒钟内实现对腔室的功率,该算法会持续测量腔室内的向前和反射功率。
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