企业资质

沈阳东创贵金属材料有限公司

普通会员6
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企业等级:普通会员
经营模式:生产加工
所在地区:辽宁 沈阳
联系卖家:赵总
手机号码:13898123309
公司官网:dcgjs.cn
企业地址:沈阳市沈河区文化东路89号
企业概况

沈阳东创***材料有限公司是东北大学科技产业集团有限公司下属的国有全资企业,始创于1973年,是国内***行业的知名企业之一。公司主要经营稀***回收、提纯、加工;金属靶材及零部件、纪念章、饰品加工;矿山工程设计,机械设备安装、调试;金属材料批发、零售;自营和代理各类商品和技术的进出口。公司主要产品......

营口金粒-金粒价格-东创***(推荐商家)

产品编号:480362552                    更新时间:2019-03-26
价格: 来电议定
沈阳东创贵金属材料有限公司

沈阳东创贵金属材料有限公司

  • 主营业务:***材料
  • 公司官网:dcgjs.cn
  • 公司地址:沈阳市沈河区文化东路89号

联系人名片:

赵总 13898123309

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产品详情

在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是***苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。另外,金粒工艺,薄膜的纯度与靶材的纯度关系极大,金粒价格,过99.995%(4N5)纯度的铜靶,或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求,但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。








绑定的适用范围

技术上来说表面平整可进行金属化处理的靶材都可以用我司铟焊绑定技术绑定铜背靶来提高溅射过程的散热性、提高靶材利用率。

建议绑定的靶材:

ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;

锡、铟等软金属靶;

靶材太薄、靶材太贵的情况等。

但下列情况绑定有弊端:

1.熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;

2.***靶材,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。




背靶材料:

无氧铜(OFC)– 目前***常使用的作背靶的材料是无氧铜,营口金粒,因为无氧铜具有良好的导电性和导热性,而且比较容易机械加工。 如果***适当,无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。

钼(Mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下,如需要进行高温帖合的条件下,金粒技术,无氧化铜容易被氧化和发生翘曲, 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配,同样也需要使用金属钼作为背靶材料。



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沈阳东创贵金属材料有限公司电话:024-24824190传真:024-24824190联系人:赵总 13898123309

地址:沈阳市沈河区文化东路89号主营产品:***材料

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