等离子体处理系统:大型等离子体处理腔来处理大基板或许多较小的基板。使用单步过程提供等离子体均匀性。是一个***的系统,具有节省空间的紧凑型机箱,具有易于访问的前负载门,并且容纳真空系统,等离子体室,bmc前处理用等离子设备,控制电子设备和13.56MHz电源。快速真空泵下降并大大提高了工艺循环时间,进一步增加了系统的吞吐量和生产率。PD-Pro系统标配配备四个质量流量控制器。
通过广泛的研究和开发,提供独特的真空和气体流动技术,新的电极设计和***的温度管理。这些关键设计元素和工艺配方参数的仔细平衡提供了一种系统,可为关键应用程序创建统一的处理。
在PCB制造过程中为大型柔性或刚性面板的回蚀,去污和表面活化提供出色的等离子体处理均匀性,等离子体处理均匀性是HDI,柔性和刚性电路板制造的***和回蚀应用中的关键操作要求。等离子体可以提供比化学或机械过程更高的均匀性和再现性。SPA系列等离子体处理系统采用专利等离子体技术,在高通量下产生优异的均匀性。






真空等离子清洗机活化处理系统的特点和优点
等离子清洗机由高质量的阳极氧化铝和陶瓷夹具构成,具有出色的耐久性,经济实惠的反应离子蚀刻在紧凑的台式配置中,各向异性反应离子蚀刻等离子体系统是完全***的.
等离子体限制环将等离子体直接聚焦在晶片上,以加速蚀刻,提供均匀的等离子体覆盖,并将等离子体隔离在晶片本身上,而不是隔离其周围或周围的区域。过程温度可以保持较低,因为增加了蚀刻速率的能力,而不需要增加电极温度或增加夹头的偏置。该环由绝缘的非导电材料制成,而铝到铝等离子体传导路径被限制在晶片区域。环与胶带和晶片框之间有2mm的间隙。由于没有等离子体产生或等离子体到晶片和胶带的底部,因此底切和分层,并且晶片表面上没有溅射或胶带沉积。整个室容积减小到仅仅晶片上方的区域。R等离子体蚀刻系统专为***的蚀刻应用设计,例如:去除用于故障分析,等离子清洗玻璃片,去封装和介电材料去除的中间膜,蚀刻氧化物,氮化物,硅,金属,ILED或IC器件制造,等离子,环氧树脂去除; 光致抗蚀剂剥离和去除。
等离子清洗机:无论是真空还是大气,等离子清洗机报价,大气直喷,大气旋转,非常适用于各种尺寸,各种平面材料或产品的表面附着力处理。它包括经过现场验证的等离子体室,以及可以传输圆形或方形衬底和框架或粘合载体的创新处理系统。基于对称室设计,基板的所有区域均被对待,确保了晶圆和晶圆间的均匀性。
模块化设计允许每个等离子体室的容量增加
集成支持1到4个等离子体室
袖珍卡盘设计确保基板放置和定心,大化工艺重复性
可配置晶圆,晶圆在框架和圆形/方形基板高达480mm
等离子体约束技术将等离子体分布直接隔离在晶片上方,从而小化不期望的次级反应
等离子清洗玻璃片-晟鼎精密-等离子由东莞市晟鼎精密仪器有限公司提供。东莞市晟鼎精密仪器有限公司(.cn)为客户提供“接触角测定仪,水滴角测试仪,便携式接触角测量仪,等离子清洗机”等业务,公司拥有“晟鼎,SINDIN,达因特”等品牌。专注于专用仪器仪表等行业,在广东 东莞 有较高知名度。欢迎来电垂询,联系人:彭女士。