




在半导体制造业中,可以把气体分成大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,扩散等过程中使用的各种化学气体,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,广东特种气体,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
特种气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向,这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求,以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中,特种气体价格,精馏技术的操作比较复杂,目前精馏的汁算还处在半经验状态,但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求;吸附分离技术还有待于吸附剂的发展;膜分离技术是较新的分离模式,它的发展很快,已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之,特种气体厂家哪家好,这三种方法各有优缺点,适应不同的场合,满足不同的要求,为特种气体的分离做出各自的贡献。
新华社北京3月13日电(记者张泉、刘诗平)电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工718所副所长郭建增告诉记者,特种气体供应商,718所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商,为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。
电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称,是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而,电子特种气体过去长期被国外企业垄断,严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善,影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。
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