莱特浩斯污染反应监测器是***个能提供区域环境空气分子污染实时数据的仪器。镀有铜或银石英晶体微量平衡传感
器用于检测大量的导致金属污染反应的腐蚀薄膜。对气团的增大的描述是基于被腐蚀的用于测量波长埃里数的光掩
膜。这种高精度的腐蚀检测手段将设备的监测提升到了1ppb的级别。

空气分子污染

一套***的系统被发展成微环境下空气光掩膜表面的空气质量的检测。下表提供了空气质量标准的参考，其中各项参
数需要严格要求才能保证芯片制造的质量，包括了对AMC的要求。

莱特浩斯感应监测器的维护仅需替换传感器 原因在于红色发光灯闪跳。在 2级环境下，铜质地的传感器将能延用26个月；
银质地的传感器将能延用40个月。安装LWS实时监控显示器时，需要放置在特殊的盒子里，在合适安全的 视线高度内固定好.

区域：选择洁净，干燥的无震动区域室温保持在-10 和 75°C (14° and 167°F)之间并且相对湿度在无凝固状态下的10% 和
 95%之间

莱特浩斯感应监测器能通过T掌上手持式电脑或笔记本电脑直接读取输出，认证，或解决遇到的疑难问题。运用某一调制解
调器发送信号的软件，诸如终端T或在线T， 设定9600波特率。将数字式232RS 数据线插入莱特浩斯感应监测器上的RS-232
端口可获取累积或增， 数据线由莱特浩斯提供以连接到笔记本电脑或手持式掌上电脑上。

记录

铜 

积累/增加

银

积累/增加

0000,
0001,

电源共计:

18 － 30伏, 非常规

输出信号l:

2个 4-20 毫安的直流电通道， 2根电源线

日常耗电量:

<50毫安

模拟输出间隔:

通过电流间隔为 60 秒

数字输出间隔:

15秒, RS-232 输出端口

红色闪灯:

表示传感器出现故障

绿色灯快闪:

* 2 小时 – 表示传感器在初始化阶段

绿色灯慢闪:

** 24小时 – 表示加强数据收集

绿色灯不闪动:

表示设备处于常规操作阶段