




随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展,特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,特种气体批发,从应用领域划分,主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。
近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体批发公司,特种气体的品种也与日俱增,据不完全统计,我国已有的特种气体达260余种。随着非低温气体分离技术(吸附、膜分离)、混配技术和提纯技术的发展,更多的特种气体产品将逐步走向市场。电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),特种气体供应,碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与发达***相比,尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。
1、特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2、特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3、特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备,并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
半导体照明是正处于方兴未艾的产业,随着化合物半导体市场的扩展,特种气体的需求呈现更大的增长,外延生长需要大量的超纯源和过程气体。目前台湾和日本的化合物半导体市场占有率较高,近年来,成都特种气体,中国、韩国的发展势头强劲,北美、欧洲的占有率也有所增长。应用于半导体技术中的特种气体因为种类繁多、品质要求严格,生产、充装、运送、储存都有技术及安全的要求。再加上经济规模等因素,需要多方面的积累,才能实现规模化生产。因此目前国内呈现市场大、供应能力小的局面。很多气体种类的研发和生产仍处于空白,市场供应主要依赖进口。
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