




这节课将展示如何设计从一个激光二极管到一个圆形准直光束的光学转换器。我们从一个典型的激光二极管的规格开始,湖北光学,它在X方向和y方向上有不同的发散角,设计任务比较复杂。以下是我们的设计规格:
Y方向的光束发散度: 8.5度
X方向的光束发散度: 19 度
波长为0.403 um
我们将使用OBG命令,它需要高斯腰半径作为参数。首先我们要把发散角转换成半径值。
在用户手册的3.1.2节中,SYNOPSYS光学,我们了解到该程序利用公式将光束半径转换为发散角
你现在使用的电脑有一个***处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头***加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。
镜片数22片
物高31mm
物方数值孔径NA 0.2
波长为UV
像方晶圆尺寸是12.66mm
总长小于1200mm
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,光学公差分析,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。
这将改变新DOE的系数,光学设计软件,在X方向和Y方向上保持光束半径等于7mm,要求边缘光线出射角为零,并纠正横向色差和OPD像差。这个过程收敛得很好——但是第2个镜片太薄了,所以将厚度增加到3mm,并再次运行优化。以下是我们的设计:输入MDI设置一个瞳孔图,按0.1波长/英寸的比例画图。结果显示误差小于1/10波。我们还没考虑过强度衰减问题。这是一个激光二极管,我们假设强度分布是高斯的。让我们检查一下光通量。
FLUX 20 P 6光通量的下降完全符合我们的预期。现在我们需要解决照度均匀的问题。
但是我们在第13课中解决过这个问题,所以我们让学习者自己去操作完成后面的练习。
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