真空机组系统常用名称 (1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，***抽采泵生产厂家，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
真空系统使用时环境温度的影响{水环真空泵}
真空系统使用时环境温度的影响
超高真空系统的全压力侧童除了***早采用的B-A型超高真空规外，又发展了许多极高真空规，如冷阴极磁控规、***规和弯注规等。但对许多研究工作来说，仅靠全压力数据是不够的。例如真空系统中的吸附、凝结、脱附过程等，***抽采泵，它涉及到容器表面和系统内部物质和残余气体分子的相互作用。这时获得系统内气体组分和分压力的数据比全压力数据更能说明问题。真空条件下的气体分析和分压力测量通常是由动态质谱计完成的。被输送介质中，若含有固体颗粒，泵入口要加过滤网：如含有铁磁质微粒，需加磁性过滤器。{水环真空泵}在使用中环境温度应小于40℃，***抽采泵参数，电机温升不得超过75℃。磁力泵正常运行1000小时后，应拆检轴承和端面动环的磨损情况，并更换不宜再用的易损件对于输送液为易沉淀结晶的介质，使用后应及时清洗，排净泵内积液。真空泵必须经常保持清洁，真空泵上不得放置其他物件，不得堵塞真空泵四周通道，以利维修和操作;经常注意三角皮带的松紧，加以调整;经常注意各管道接头处是否漏气，煤矿***抽采泵型号，以及箱体内预真空有否下降，否则要及时维修;经常注意冷却水是否畅通;每次开车要断续启动4-6次，每次2s以内，以克服启动时较大转矩。
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经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。
换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。
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