




深度提纯难度大,而纯度是电子气体质量***重要的指标。在芯片加工过程中,微小的气体纯净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电子气体纯度往往要求5N-6N级别,还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。气体纯度每提高一个层次对纯化技术就提出了更高的要求,技术难度也将显著上升。以硅1烷为例,将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路。对于混合气体而言,混合配比的精度也是下游生产厂商关心的指标。气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法等。
特种气体使用安全
首先,应对特气的危害性进行分析,特种气体企业,通过本质安全设计,北京特种气体,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次,采用监测手段,特种气体多少钱,预防事故发生。设置气体泄漏侦测器,监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。***气体应设置过流开关。气柜应进行负压监测,防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
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