




随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展,特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,特种气体批发,从应用领域划分,主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。
近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体的品种也与日俱增,据不完全统计,我国已有的特种气体达260余种。随着非低温气体分离技术(吸附、膜分离)、混配技术和提纯技术的发展,更多的特种气体产品将逐步走向市场。电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅1烷、磷烷等),特种气体价格,氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与发达***相比,尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。
特种气体应用于国民经济的许多方面 , 它在石油化工 、环境保护 、医1药卫生等各领域发挥着巨大 的作用 。我国特种气体经过 20 多年的发展 , 在广大特气工作者不懈的努力下 , 无论在气体品种上 , 高纯石油化工气体是配制标准气体必需的原 还是在数量上 , 都以***的速度发展 , 生产的 料 , 它的质量好坏 、价格高低 , 直接决定了标准气 品种基本上满足了市场的需求 , 从事特种气体研究的人数也在不断攀升 , 形成了不可忽视的行业力量 , 我国特种气体依赖于进口的状况 ,安徽特种气体, 已成为历史 。
特种气体(Specialty gases)是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体广泛应用于半导体制造行业,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体中包含了大量的***、***的***性大的气体,因此,特种气体的使用和贮存有别于普通的工业气体。特种气体按性质分类:腐蚀性气体、***性气体、氧化氧气体、惰性气体、***性气体。
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