测量范围：200mm×100mm
分辨率：0.0002mm
准确度：（1+L/100）μm（其中 L为测量长度，单位：mm）
工作台
平工作台尺寸：260mm×270mm
圆工作台直径：φ 213mm
圆工作台角度分划范围：0°~ 360°
圆工作台角度分度值：30"
物镜
| 总放大率 | 物镜放大率 | 工作距离 | 物方视场 |
| 1× | 10× | 79mm | Φ20mm |
| 3× | 30× | 69mm | Φ6.6mm |
| 5× | 50× | 49mm | Φ4mm |
主显微镜立柱
倾斜范围：&plu***n;12°
倾斜角度分划值：30′
测角目镜
角度分划范围：360°
角度分度值：1'
轮廓目镜
角度分划范围：&plu***n;7°
角度分度值：10'
顶针装置
夹持***大长度：700mm
夹持***大直径：φ100mm
高顶针架
***大夹持长度：200mm
夹持***大直径：φ250mm
圆分度头
角度分划范围：0°~ 360°
角度分度值：1′
光学***器
测杆垂直方向摆动范围：&plu***n;3°
***小探测孔径：φ5mm
***大探测深度：15mm
***变动性：<1μm
测量力（N）：0.1&plu***n;0.03
环境要求：室温20&plu***n;1℃，相对湿度40％－60％RH
仪器外形尺寸(mm) :长1300×宽1250×高800
仪器质量: 450kg