测量范围：200mm ×100 mm
分辨率：0.0002mm
准确度：(1+L/100)μm（其中L为被测长度，单位为mm）
工作台
方工作台尺寸：260mm×270mm
方工作台承放工件***大高度：140mm
工作台承重：40kg
主显微镜立柱
倾斜范围：&plu***n;12°
倾斜角度分度值：30′
物镜
| 物镜放大率 | 工作距离（mm） | 图像放大倍率 |
| 1× | 82mm | 40× |
| 3× | 70mm | 120× |
| 5× | 49mm | 200× |
| 屏幕图像范围（mm） | 屏幕图像范围（mm） |
| 1/2″≈5.2×4.1 | 1/3″=4.1×3.1 |
| 1/2″≈1.7×1.4 | 1/3″=1.4×1.0 |
| 1/2″≈1.0×0.8 | 1/3″=0.8×0.6 |
顶针架
夹持***大直径：φ100 mm
夹持***大长度：700mm
高顶针架
夹持***大直径：φ250 mm
夹持***大长度： 200mm
数显分度头
角度测量范围：0°～360°
角度测量分辨率：5″
角度测量准确度：30″
CCD 摄像头
1/3英寸彩色（或黑白）CCD
像素数：795×596
光学***器
***小探测孔径: φ5mm
***大探测深度：15mm
测量力：0.1N
***稳定性: 0.001mm
测头直径的检定极限误差：0.0005mm
环境要求：室温20&plu***n;1℃，相对湿度40％－60％RH
仪器外形尺寸(mm) : 长1300×宽1250×高800
仪器质量： 450kg