德国BMT WLIRing 干涉仪 |
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WLIRing 干涉仪 特点 l 对内外层都可进行测量 l 光滑粗糙表面都可进行测量 l 测量结果不受工件的颜色和材料影响 l 数秒内进行快速测量 l 用于在线测量的OEM测量头
测量头 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大约(mm):1 l 测量区域的尺寸:由物体决定 l 图像尺寸(Pixel):1000×1000 移动平台 l Z轴(mm):10~50 l 步进速度(μm/min):1
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