德国BMT WLI Infra干涉仪 |
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WLI Infra干涉仪
•MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量；
•纳米级分辨率；
•手动或自动测量步骤设计，简单易用；
•不受温度变化和热效应的影响；
•***的重复性；
•可配备表面轮廓测量。
技术参数： •厚度分辨率（nm） <1
•探针大小 （μm） 约150（可定制）
•厚度范围 （μm） 0.1-600
•仪器尺寸 （mm） 320x320x380
•重量 （kg） 120
•晶圆夹具 定制，可达30cm
•全自动测量
•标准或定制的软件包
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