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上海维翰光电科技有限公司

普通会员第12年

企业等级：普通会员

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企业概况

上海维翰光电科技有限公司是一家拥有优秀的技术、经营和管理人才队伍，着重发展尖端光学、精密机械、计算机相结合的（光、机、电一体化）光学仪器的开发、生产和销售，具备较强的市场开拓能力、光机电领域技术与产品的成套开发制造能力，能够为客户提供高效、优质服务的合资企业公司主要经营自主研发产品有：工具显微镜,测......

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半导体检查显微镜MX51

产品编号：5215363 更新时间：2013-03-29

价格：

¥1.00

上海维翰光电科技有限公司

主营业务：工具显微镜,测量显微镜,生物显微镜,体视显微镜,金相显微镜,...
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产品详情

编号：MX51

产品说明

半导体/FPD检查显微镜 MX51

能对应150 mm晶圆／FPD玻璃基板的手动操作型号（反射透射兼用）

对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异。

工业检查显微镜 MX51

观察影像实例

晶圆（明视场观察）	晶圆（暗视场观察）

晶圆（微分干涉观察）	彩色滤***（透射观察）

业检测显微镜 MX51 规格
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射/透射
	照明装置		明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光）通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光）
	照明系统	反射照明	100 W卤素/100 W***/75 W氙
		透射照明	纤维光导
	对焦单元	电动/手动	手动
		行程	32 mm
		分辨率/微调灵敏度	微调旋钮转动1周移动0.1 mm
		***大样本高度	30 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉5孔明暗视场微分干涉中心输出5孔明暗视场微分干涉6孔
		手动式	明视场5孔明视场微分干涉6孔明视场微分干涉中心输出6孔明视场微分干涉7孔明暗视场5孔明暗视场微分干涉5孔明暗视场微分干涉中心输出5孔明暗视场微分干涉6孔
载物台	行程		6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm　（透射照明范围100×100 mm） 4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm　（透射照明范围96×96 mm）
观察筒	广角视场（视场数22）	倒置	双目/三目观察筒
		正像	三目观察筒
	超宽视场（视场数26.5）	倒置	三目观察筒
		正像	倾斜三目观察筒
附件单元			DUV单元/IR单元/自动装载
外形尺寸			430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合）
重量			26 kg（标准组合）